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6月30日讯，据国资委官微，中国电科 旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，当前，28 … Continue reading 中国芯片设备新突破！国产离子注入机实现28nm工艺制程全覆盖